化學氣相沉積
化學氣相沉積的相關文獻在1980年到2023年內共計5748篇,主要集中在一般工業技術、化學工業、無線電電子學、電信技術
等領域,其中期刊論文2013篇、會議論文441篇、專利文獻407843篇;相關期刊585種,包括材料導報、功能材料、真空與低溫等;
相關會議260種,包括第十一屆中國光伏大會暨展覽會、第九屆全國新型炭材料學術研討會、第七屆海峽兩岸新型炭材料學術研討會等;化學氣相沉積的相關文獻由10156位作者貢獻,包括汪建華、甘志銀、李賀軍等。
化學氣相沉積—發文量
專利文獻>
論文:407843篇
占比:99.40%
總計:410297篇
化學氣相沉積
-研究學者
- 汪建華
- 甘志銀
- 李賀軍
- 滿衛東
- 成來飛
- 張立同
- 于金鳳
- 賀鵬博
- 呂反修
- 姜勇
- 奚明
- 朱劉
- 熊翔
- 馬悅
- 曾一平
- 杜志游
- 劉勝
- 耿新華
- 韓高榮
- 熊禮威
- 王必本
- 薩爾瓦多
- 趙建國
- 馬志斌
- 趙穎
- 馮秋菊
- 劉忠范
- 李成明
- 翁俊
- 胡少林
- 邵友林
- 黃占超
- 周帆
- 唐偉忠
- 孫方宏
- 梁秉文
- 不公告發明人
- 張志明
- 趙乃勤
- 陳強
- 黃啟忠
- 李夢軻
- 馬捷
- 黃伯云
- 呂偉桃
- 徐永東
- 李克智
- 李晉閩
- 楊冰
- 梁宸
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周梓豪;
吳麗莉;
陳廷
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摘要:
為了探討制備碳納米管纖維的直立式氣相沉積反應器氣體流場,選用計算流體力學軟件Gambit和Fluent分別對直立式氣相沉積反應器氣體流場進行建模和數值模擬,模擬得到反應器內部氣體速度、溫度和濃度分布。結果表明:氣體從進氣管口射出時速度達到峰值1.79 m/s;在加熱段時速度逐漸趨向于穩定,為0.02 m/s,溫度逐漸趨向于反應器管壁溫度(1500 K);碳源甲烷氣體在反應器加熱段呈現泊肅葉分布。直立式氣相沉積反應器加熱段氣體流場呈現低速平緩高溫,是適宜碳納米管合成和碳納米管纖維形成的有利環境和主要區域。
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姜蓓;
孫靖宇;
劉忠范
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摘要:
石墨烯晶圓是引領未來的戰略材料,在集成電路、微機電系統和傳感器等領域具有廣闊的應用前景。實現石墨烯晶圓廣泛應用的前提是高品質材料的規模化制備??煽匦愿摺⒐に嚰嫒菪詮?、成本低的化學氣相沉積(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品質石墨烯晶圓規?;苽涞氖走x方法。本文將綜述石墨烯晶圓的CVD制備進展:首先探討石墨烯晶圓的制備需求,從實用牽引和應用場景出發,提出石墨烯晶圓的制備品質等級;隨后重點介紹石墨烯的晶圓級制備方法和石墨烯晶圓材料的規模化制備技術;最后,對石墨烯晶圓可行的制備路線進行總結,并展望未來可能的發展方向。
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程熠;
王坤;
亓月;
劉忠范
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摘要:
石墨烯纖維材料是以石墨烯為主要結構基元沿某一特定方向組裝而成或由石墨烯包覆纖維狀基元形成的宏觀一維材料。根據組成基元的不同可將石墨烯纖維材料分為石墨烯纖維和石墨烯包覆復合纖維。石墨烯纖維材料在一維方向上充分發揮了石墨烯高強度、高導電、高導熱等特點,在智能纖維與織物、柔性儲能器件、便攜式電子器件等領域具有廣闊的應用前景。隨著化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,CVD)制備石墨烯薄膜技術的發展,CVD技術也逐漸應用于石墨烯纖維材料的制備。利用CVD法制備石墨烯纖維可避免傳統紡絲工藝中繁瑣的氧化石墨烯(Graphene Oxide,GO)還原過程。同時,通過CVD法直接將石墨烯沉積至纖維表面可以保證石墨烯與纖維基底之間強的粘附作用,提高復合纖維的穩定性,同時可實現對石墨烯質量的有效調控。本文綜述了石墨烯纖維材料的CVD制備方法,石墨烯纖維材料優異的力學、電學、光學性質及其在智能傳感、光電器件、柔性電極等領域的應用,并展望了CVD法制備石墨烯纖維材料未來的發展方向。
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陳恒;
張金燦;
劉曉婷;
劉忠范
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摘要:
化學氣相沉積法(CVD)制備的石墨烯薄膜具有質量高、均勻性好、層數可控且可放大等優點,近年來受到了學術界和工業界的廣泛關注。在高溫CVD生長過程中,除襯底表面的反應外,氣相反應同樣會影響石墨烯的生長行為和薄膜質量。本文將綜述氣相反應對CVD生長石墨烯的影響:首先對CVD體系內的氣相傳質過程和氣相反應進行了詳細討論;隨后系統介紹了基于氣相調控提高石墨烯的結晶性、潔凈度、疇區尺寸、層數和生長速度的相關策略及其機理;最后對氣相反應影響CVD生長石墨烯的規律進行總結,并展望了未來可能的發展方向。
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程婷;
孫祿釗;
劉志榮;
丁峰;
劉忠范
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摘要:
以過渡金屬為催化襯底的化學氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition,CVD)已經可以制備與機械剝離樣品相媲美的石墨烯,是實現石墨烯工業應用的關鍵技術之一。原子尺度理論研究能夠幫助我們深刻理解石墨烯生長機理,為實驗現象提供合理的解釋,并有可能成為將來實驗設計的理論指導。本文從理論計算的角度,總結了各種金屬襯底在石墨烯CVD生長過程中的各種作用與相應的機理,包括在催化碳源裂解、降低石墨烯成核密度等,催化加快石墨烯快速生長,修復石墨烯生長過程中產生的缺陷,控制外延生長石墨烯的晶格取向,以及在降溫過程中石墨烯褶皺與金屬表面臺階束的形成過程等。在本文最后,我們對當前石墨烯生長領域中亟需解決的理論問題進行了深入探討與展望。
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齊越;
王俊強;
朱澤華;
武晨陽;
李孟委
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摘要:
化學氣相沉積法生長的單層石墨烯具有卓越的力學、熱學和電學特性,成為新一代納米器件的首選材料。對石墨烯電子特性的理論研究有利于推動納米器件的發展與應用。本文基于密度泛函理論與非平衡格林函數相結合的方法,系統地研究了石墨烯及石墨烯/氮化硼的電子結構特性。結果表明,在高對稱K點,帶隙為零。在50~400 K范圍內,由于費米面的電聲子散射作用,單層石墨烯的遷移率隨著溫度增加呈現顯著下降趨勢。此外,通過對不同層間距的石墨烯/氮化硼結構的能帶、態密度、電子密度等特性分析,發現隨著層間距增加,能帶間隙減小,導帶與價帶間的能量差減小。隨著原子個數的增加,石墨烯/氮化硼超胞結構與原胞結構的帶隙開度變化規律一致,這對石墨烯基器件的結構設計具有一定的指導意義。
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劉曉婷;
張金燦;
陳恒;
劉忠范
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摘要:
化學氣相沉積(Chemical vapor deposition,CVD)法制備的石墨烯薄膜具有質量高、可控性好、可放大等優點,近年來受到了學術界和工業界的廣泛關注。然而,近期研究結果表明,在高溫CVD生長石墨烯的過程中,伴隨著許多副反應,這些副反應會導致石墨烯薄膜表面沉積大量的無定形碳污染物,造成石墨烯薄膜的"本征污染"現象。同時,這些污染物的存在會導致轉移后的石墨烯薄膜表面更臟,對石墨烯材料和器件的性能帶來嚴重影響。這也是CVD石墨烯薄膜的性能一直無法媲美機械剝離石墨烯的重要原因之一。事實上,超潔凈生長方法制備得到的超潔凈石墨烯薄膜在諸多指標上都給出了目前文獻報道的最好結果,代表著石墨烯薄膜材料制備技術的發展前沿。本文首先對CVD法制備石墨烯過程中表面污染物的形成機理進行分析,然后綜述了超潔凈石墨烯薄膜的制備方法,并列舉了超潔凈石墨烯薄膜的優異性質。最后,總結并展望了超潔凈石墨烯未來可能的發展方向和規?;苽涿媾R的機遇與挑戰。
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張國欣;
寧博;
趙楊;
劉紹祥;
石軒;
趙洪泉
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摘要:
錫二硫族化合物可以通過改變硫和硒的含量來連續調控三元合金材料的帶隙、載流子濃度等物理化學性質,在電子和光電子器件應用上具有巨大的潛力。本文采用化學氣相沉積(CVD)技術可控地制備了不同元素組分的SnS_(x)Se_(2-x)(x=0,0.2,0.5,0.8,1.0,1.2,1.5,1.8,2.0)單晶納米片。采用掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、能量色散X射線光譜(EDS)、透射電子顯微鏡(TEM)以及拉曼光譜等手段對SnS_(x)Se_(2-x)納米片進行了綜合表征。結果表明本方法成功實現了元素百分比可調的SnS_(x)Se_(2-x)單晶納米片的可控制備。重點研究了依賴于元素百分比的SnS_(x)Se_(2-x)的拉曼特征譜,實驗結果與基于密度泛函理論(DFT)的第一性原理計算得到的SnS_(x)Se_(2-x)的拉曼仿真譜高度吻合,理論計算結果較好地詮釋了實驗拉曼光譜發生變化的原因。本研究提供了一種元素百分比可調的三元SnS_(x)Se_(2-x)單晶納米片的可控制備方法,同時對錫二硫族化合物的明確、無損識別提供了方案。
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YAO Han;
姚涵;
HE Ye-li;
何葉麗;
CHEN Yu-ming;
陳育明
- 《“科成杯”浙江省紡織印染助劑行業第28屆學術年會》
| 2018年
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摘要:
石墨烯具有優異的光電性能,是極具潛力的新一代導電材料.采用傳統的熱化學氣相沉積法制備單層石墨烯需要高溫反應條件,試驗嘗試采用等離子體增強化學氣相沉積法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在550°C的反應溫度下,較短的反應時間內,在銅箔襯底上制備出石墨烯薄膜.考察了甲烷和氫氣流量比、氬氣的作用以及襯底通電與否等因素對石墨烯生長的影響.研究發現,在甲烷與氫氣流量比為1∶1,通入氬氣,不給銅箔襯底通電的試驗條件下,制備出的石墨烯薄膜電阻值為4.15kΩ,顯示出較好的光電特性.
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Gao Yanghua;
高陽華;
Lei Xuelin;
雷學林;
He Yun;
何云
- 《2018第十二次中國硬質合金學術會議》
| 2018年
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摘要:
近年來,隨著手機、筆記本電腦、液晶顯示器以及其他電子產品需求量增加,印刷電路板(PCB)行業發展迅速.本文討論了在微鉆加工PCB板時化學氣相沉積(CVD)金剛石薄膜的優化問題.首先,對微晶金剛石(MCD)-PCB,納米晶體金剛石(NCD)-PCB和硬質合金-PCB摩擦對的摩擦試驗表明,PCD-PCB摩擦對的摩擦系數最低(0.35),而由于其獨特的納米結構和NCD薄膜較低的表面粗糙度,使得其PCB板的磨損率最高(9.043×10-5mm3N-1m-1).而后進行了PCB板鉆削試驗,對MCD,NCD,類金剛石涂層(DLC)和TiAlN涂層微鉆的切削性能進行對比研究.
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杜玲玉;
吳強;
胡征
- 《第十四屆長三角科技論壇暨第十屆華東真空學術交流會》
| 2017年
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摘要:
一維InAIN納米材料在光電子領域具有廣闊應用前景,但由于InN與AIN之間的巨大晶格失配,其合成和成分調變極具挑戰.通過lnCI3、A1C13與NH3的化學氣相沉積過程成功合成了三元InxAI,_xN一維納米結構,增加InC13和AICI3的蒸氣壓之比可使其形貌經歷從納米錐到納米柱、納米刷、納米錐的演變,其In含量在0~5at%之間調變.光致發光測試表明InxAI,_xN一維納米材料具有優異的藍光發射性能.
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Zhong Zhiqiang;
鐘志強;
Zhang Li;
張立;
Zhou Lei;
周磊;
Xiao Qiaoping;
肖橋平
- 《2018第十二次中國硬質合金學術會議》
| 2018年
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摘要:
采用CVD工藝,在WC-6Co硬質合金基體表面沉積TiN/MT-TiCN/α-Al2O/3TiN涂層.采用三維輪廓儀、掃描電子顯微鏡、X射線應力測量儀、劃痕儀以及車削實驗等方法,研究了后處理工藝對涂層刀具車削加工HT-250灰口鑄鐵的切削性能及其相關特性的影響.結果表明,與傳統的拋光、濕噴砂以及刃口毛刷鈍化等涂層后處理工藝相比,濕噴砂后再進行拋光處理,涂層具有最低的表面粗糙度、最優的熱裂紋愈合效果,涂層呈現壓應力狀態以及>100N的膜基結合力;涂層刀具具有最長的切削壽命;在切削中后期,被加工件具有最低的加工硬化值和最低的表面粗糙度.因被加工件表面粘附所導致的月牙洼磨損是涂層刀具失效的主要原因.
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Zhong Zhiqiang;
鐘志強;
Zhang Li;
張立;
Zhou Lei;
周磊;
Xiao Qiaoping;
肖橋平
- 《2018第十二次中國硬質合金學術會議》
| 2018年
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摘要:
采用CVD工藝,在WC-6Co硬質合金基體表面沉積TiN/MT-TiCN/α-Al2O/3TiN涂層.采用三維輪廓儀、掃描電子顯微鏡、X射線應力測量儀、劃痕儀以及車削實驗等方法,研究了后處理工藝對涂層刀具車削加工HT-250灰口鑄鐵的切削性能及其相關特性的影響.結果表明,與傳統的拋光、濕噴砂以及刃口毛刷鈍化等涂層后處理工藝相比,濕噴砂后再進行拋光處理,涂層具有最低的表面粗糙度、最優的熱裂紋愈合效果,涂層呈現壓應力狀態以及>100N的膜基結合力;涂層刀具具有最長的切削壽命;在切削中后期,被加工件具有最低的加工硬化值和最低的表面粗糙度.因被加工件表面粘附所導致的月牙洼磨損是涂層刀具失效的主要原因.
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Zhong Zhiqiang;
鐘志強;
Zhang Li;
張立;
Zhou Lei;
周磊;
Xiao Qiaoping;
肖橋平
- 《2018第十二次中國硬質合金學術會議》
| 2018年
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摘要:
采用CVD工藝,在WC-6Co硬質合金基體表面沉積TiN/MT-TiCN/α-Al2O/3TiN涂層.采用三維輪廓儀、掃描電子顯微鏡、X射線應力測量儀、劃痕儀以及車削實驗等方法,研究了后處理工藝對涂層刀具車削加工HT-250灰口鑄鐵的切削性能及其相關特性的影響.結果表明,與傳統的拋光、濕噴砂以及刃口毛刷鈍化等涂層后處理工藝相比,濕噴砂后再進行拋光處理,涂層具有最低的表面粗糙度、最優的熱裂紋愈合效果,涂層呈現壓應力狀態以及>100N的膜基結合力;涂層刀具具有最長的切削壽命;在切削中后期,被加工件具有最低的加工硬化值和最低的表面粗糙度.因被加工件表面粘附所導致的月牙洼磨損是涂層刀具失效的主要原因.
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Zhong Zhiqiang;
鐘志強;
Zhang Li;
張立;
Zhou Lei;
周磊;
Xiao Qiaoping;
肖橋平
- 《2018第十二次中國硬質合金學術會議》
| 2018年
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摘要:
采用CVD工藝,在WC-6Co硬質合金基體表面沉積TiN/MT-TiCN/α-Al2O/3TiN涂層.采用三維輪廓儀、掃描電子顯微鏡、X射線應力測量儀、劃痕儀以及車削實驗等方法,研究了后處理工藝對涂層刀具車削加工HT-250灰口鑄鐵的切削性能及其相關特性的影響.結果表明,與傳統的拋光、濕噴砂以及刃口毛刷鈍化等涂層后處理工藝相比,濕噴砂后再進行拋光處理,涂層具有最低的表面粗糙度、最優的熱裂紋愈合效果,涂層呈現壓應力狀態以及>100N的膜基結合力;涂層刀具具有最長的切削壽命;在切削中后期,被加工件具有最低的加工硬化值和最低的表面粗糙度.因被加工件表面粘附所導致的月牙洼磨損是涂層刀具失效的主要原因.